Log inSign up
LANGUAGE czen
Menu
ContactSTOREFAQNews
SEARCH
0
Total price
0 €
PRICES include / exclude VAT
Homepage>ČSN EN 62047-16 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
Vydáno: 01.09.2015
ČSN EN 62047-16 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku

ČSN EN 62047-16

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku

Format
Availability
Price and currency
Anglicky Hardcopy
In stock
8.52 €
Označení normy:ČSN EN 62047-16
Třídící znak:358775
Počet stran:20
Vydáno:01.09.2015
Harmonizace:Norma není harmonizována
Katalogové číslo:98269
DESCRIPTION

ČSN EN 62047-16

Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu.
Print