UNE EN 62047-6:2010

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (Endorsed by AENOR in June of 2010.)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 4: Métodos de ensayo de la fatiga axial de los materiales de película. (Ratificada por AENOR en junio de 2010.)