Cena s DPH / bez DPH
sklademVydáno: 2010
ISO 14237:2010
ISO 14237:2010-Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
Formát
Dostupnost
Cena a měna
Anglicky PDF
K okamžitému stažení
Tisknutelné
3990 Kč
Francouzsky PDF
K okamžitému stažení
Tisknutelné
3990 Kč
Anglicky Tisk
Skladem
3990 Kč
Francouzsky Tisk
Skladem
3990 Kč
| Označení normy: | ISO 14237:2010 |
| Počet stran: | 19 |
| Vydání: | 2 |
| Vydáno: | 2010 |
Popis
ISO 14237:2010
ISO 14237:2010 specifies a secondary-ion mass spectrometric method for the determination of boron atomic concentration in single-crystalline silicon using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted with boron. This method is applicable to uniformly doped boron in the concentration range from 1 x 1016 atoms/cm3 to 1 x 1020 atoms/cm3.
