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UNE EN 62047-25:2016
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area (Endorsed by Asociación Española de Normalización in January of 2017.)
Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 25: Tecnología de fabricación de MEMS basados en silicio. Método de medida de la resistencia al cizallamiento y al desprendimiento del área de micro unión. (Ratificada por la Asociación Española de Normalización en enero de 2017.)
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| Označení normy: | UNE EN 62047-25:2016 |
| Počet stran: | 31 |
| Vydáno: | 2017-01-01 |
| Status: | Norma |
Popis
This standard UNE EN 62047-25:2016 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area (Endorsed by Asociación Española de Normalización in January of 2017.) is classified in these ICS categories:
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