Cena s DPH / bez DPH
Hlavní stránka>ČSN EN 62047-17 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
Sponsored link
Vydáno: 01.09.2015
ČSN EN 62047-17 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev

ČSN EN 62047-17

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev

Formát
Dostupnost
Cena a měna
Anglicky Tisk
Skladem
325 Kč
Označení normy:ČSN EN 62047-17
Třídící znak:358775
Počet stran:36
Vydáno:01.09.2015
Harmonizace:Norma není harmonizována
Katalogové číslo:98268
Popis

ČSN EN 62047-17

Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm. Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko. Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály.