ČSN P CEN ISO/TS 80004-8

Tato technická specifikace uvádí termíny a definice vztahující se k procesům nanovýroby v oblasti nanotechnologií. Je součástí několikadílné dokumentace terminologie a definic pokrývající různé aspekty nanotechnologií. Všechny termíny v tomto dokumentu vztahující se k procesu jsou relevantní pro nanovýrobu. Výlučně mnohé z uvedených procesů však pro nanostupnici relevantní nejsou. V závislosti na kontrolovatelných podmínkách však mohou tyto procesy vést k materiálovým prvkům v řádu nanometrů, nebo alternativně i k větší stupnici. Existuje mnoho dalších termínů, názvů nástrojů, součástí, materiálů, metod řízení systému nebo metrologických metod spojených s nanovýrobou, které jsou nad rámec tohoto dokumentu.