UNE EN 60204-33:2011

Safety of machinery - Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment (Endorsed by AENOR in December of 2011.)

Seguridad de las máquinas. Equipo eléctrico de las máquinas. Parte 33: Requisitos para los equipos de fabricación de semiconductores. (Ratificada por AENOR en diciembre de 2011.)