UNE EN 62047-17:2015

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (Endorsed by AENOR in August of 2015.)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 17: Método de ensayo de bulto para medir las propiedades mecánicas de las películas finas (Ratificada por AENOR en agosto de 2015.)