UNE EN 62047-3:2006

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing (IEC 62047-3:2006) (Endorsed by AENOR in January of 2007.)

Dispositivos semiconductores. Parte 3: Dispositivos micro-electromecánicos. Pieza de ensayo patrón de película fina para ensayo de tensión (IEC 62047-3:2006) (Ratificada por AENOR en enero de 2007.)